選擇語言: ENGLISH | 簡體中文
Olympus
RameHart
Feinfocus X-Ray
View Engineering
Smatech
VEGARAY 桌上型X-RAY
AXSYS
YCT
Buehler
ISP SEM電子掃描鏡
 

地址:江蘇省無錫新區菱湖大道111號軟件園天鵝座C座17層(無錫)

全國免費熱線:400-000-9732
電 話:0510-88239732;88554683;88558709
傳 真:0510-88239731
郵 編:214112
聯系人:王先生
手 機:13961741702
網 址:www.runwangid.com

 地址: 上海黃浦區廣東路600號世界貿易大廈910室(上海)

電 話:021-33766501;33766502
傳 真:021-33766507
QQ:954165837

 
 
半導體FPD檢查顯微鏡MX61L
產品概要

 

MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導體檢查顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法(DIC)、熒光法、紅外線法和深紫外線法,保證了圖像分辨率和鮮明度。
考慮了檢查效率的設計
主要操作集中配置在前面板上


前面板
[1] 照明強度旋鈕
[2] 物鏡倍率切換
[3] 孔徑光闌調節

在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌(AS)的開閉調節,與物鏡的切換和觀察模式連動,用一個按鈕就可以操作。此外,用一個手指就可以調光的旋鈕也配置在前面板上,從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌(AS)的按鈕分別斜向配置,手不離開對焦手柄,只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指的感知度,能夠防止錯誤操作。

觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒


傾斜鏡筒示意圖

為了適應視點而調整座椅的高度,或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間,降低工作速度。但是,配備傾斜角度為0°~42°(可變高度為150 mm,SEMI S8對應)的傾斜鏡筒,可采取與檢查者體格無關的舒適觀察姿勢,甚至可以站立檢查。此外,這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離,可以在較大的平臺上輕松操作。

高靈敏度載物臺可以迅速決定位置


內置離合器的載物臺手柄

對應300 mm晶圓/17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍(Y方向284 mm)。另外,內置離合器的載物臺手柄,可切換粗調和微調。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺,快速完成檢查。

鮮明圖像和分辨率為特點的光學系統
多種選擇可實現成像性能
物鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件,奧林巴斯有應對多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產品陣容可供選擇。


觀察影像實例


明視場觀察


暗視場觀察


微分干涉觀察


熒光觀察

豐富的產品陣容,可按需選擇

MPLAPON

平場復消色差透鏡

MPLFLN

平場半復消色差透鏡

MPLFLN-BD

明暗視場用平場半復消色差透鏡

MPLFLN-BDP

反射偏振光用平場半復消色差透鏡

LMPLFLN

長工作距離平場半復消色差透鏡

LMPLFLN-BD

明暗視場用長工作距離平場半復消色差透鏡

MPLN

平場消色差透鏡

MPLN-BD

明暗視場用平場消色差透鏡

SLMPLN

超長工作距離平場消色差透鏡

LCPLFLN-LCD

液晶長工作距離平場半復消色差透鏡


軟件方案
實現數字成像
MX61L配備了PC界面,可以讀取顯微鏡的電動功能。因此,捕獲影像時可以自動保存物鏡倍率,為日后處理和分析影像提供影像信息。
使用數碼照相機記錄和保存數碼影像
三目鏡筒可以安裝數碼照相機。可以保存和記錄數碼影像,幫助創建觀察報告。可依據用途從圖像質量、功能、使用方便性等方面選擇數碼照相機。

支持缺陷檢測的多種功能
快速切換物鏡,提高檢查速度


電動物鏡轉換器示意圖

電動物鏡轉換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換,可以操作按鈕瞬時間完成,提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉換器可以按需選擇。另外,UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機,在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。

變換物鏡,孔徑光闌(AS)也隨之調節


AS自動調節示意圖

每次變換物鏡時都需要調節孔徑光闌(AS)的話,會影響檢查速度。MX61L對每個物鏡都可以設置觀察方法和AS(14級),只要切換物鏡就能以合適的對比度進行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調節AS,提高速度的同時減輕了操作員的疲勞。

幫助實現多種觀察的附件
安全快速的搬運晶圓


自動晶圓搬送機AL110(200 mm規格)組合

MX61L能與自動晶圓搬送機組合,組合后的尺寸也被設計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執行從內面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務。此外,晶圓盒還可以從前面輕松設置。如果使用選件的遙控器,那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。

近紅外線觀察單元
由可見光線領域到近紅外線領域的像差校正物鏡,和紅外線用超廣角三目鏡筒等,對應近紅外線的裝置備有各種型號。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發揮。


近紅外線觀察單元


粘合襯墊

熒光觀察單元
在滑桿上追加鏡子裝置可以對應熒光觀察。備有U.B.G激勵的反射鏡裝置,可有效地檢查和分析有機EL和殘留光刻膠。


熒光鏡單元


熒光觀察

透射照明單元


透射照明單元

對應光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載,實現了透射簡易偏振光觀察。有通用的A型號和高NA(數值孔徑)的B型號兩種型號。

上一頁:體視顯微鏡 SZX10
下一頁:Olympus數碼顯微鏡DSX1000
    
Copyright 2012?世邁科技有限公司 All Rights Reserved. 友情鏈接:olympus   美國rame hart   無錫世邁科技有限公司
地址:江蘇省無錫新區菱湖大道111號軟件園天鵝座C座17層(無錫)
           上海黃浦區廣東路600號世界貿易大廈910室 (上海)
蘇ICP備12018359號-1
網絡公司:君通科技
久久综合色之久久综合,久久国产免费观看精3,九月婷婷人人澡人人添人人爽,亚洲婷婷五月激情综合查询