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AL120-12晶圓搬送機
產品概要 技術規格

 

AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。
人機工程學設計,操作方便

  • 可以自由設置的檢查模式,在設計上考慮了后道工程中的操作性,重視設備的操作簡便性。
  • 分別對應FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機型。

安全傳送

  • 能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
  • 薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。
  • 宏觀觀察位置和操作單元的集中排列,提高了設備的操作舒適性。

專用宏觀照明裝置


為異物、傷痕、膜斑、散焦的發現提供了照明方式
高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合,實現了300 mm晶圓的冷光源全面照射。

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