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AL120晶圓搬送機
產品概要 技術規格

AL120晶圓搬送機可對應200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓,可以安全高效搬送薄片晶圓,適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
適應范圍廣、搭配靈活
對應多種尺寸組合
我們推出了200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應小于150 mm的晶圓)的3種型號。除此以外,您還可以根據檢查模式,選用微觀檢查專用型號"L型"或微觀?宏觀檢查兼用型號"LMB型"。

晶圓尺寸?厚度對應表
薄片檢查
對應薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的很薄晶圓。
高度實用性
進一步宏觀檢查



背面宏觀360゜旋轉
  • 宏觀檢查手臂可以360゜旋轉,更為容易發現傷痕和微塵。
  • 利用360゜旋轉功能,完全可以目視檢查整個晶圓(包括邊緣)。此外,在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓傾斜30゜進行觀察。

操作便捷

  • 為了滿足各種常規檢查的要求,AL120可以登記多達10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度。快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
  • 晶圓搬送機的菜單設置和設置參數都會在LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT,便于操作者再次確認。
  • AL120使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口/平面,可以減少晶圓和設備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。

高度可靠性
考慮晶圓和操作者的安全

  • 為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設計。
  • 在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測,同時,在環境保護方面遵守了RoHS指令。

顯微鏡底座
AL120搭載奧林巴斯MX專業晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測方法,包括:明視場、暗視場、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實現了圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定,各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制,AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上。
人機工程學設計的載物臺

  • 手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率,標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。
  • 可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺,進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。
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