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Olympus測量顯微鏡STM7-SFA
產品概要

 

STM7顯微鏡多用途性,能夠實現對零部件和電氣組件的三軸測量。無論待測樣品是大的還是小的,測量內容是簡單的還是復雜的,奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求測量顯微鏡產品。

  • STM7 通過整合光學顯微鏡和實現測量
  • STM7在設計上易用性
  • 自動聚焦系統重復性
  • 擴寬觀察與測量范圍的配件
  • 實現測量系統

STM7 通過整合光學顯微鏡和實現測量  



STM7系列采用了UIS2無限遠校正光學系統。因此,觀察到的圖像有高分辨率和高對比度,此外,像差也被完全消除,以確保實現對微小細節的測量。 
 

明場圖像
明場圖像
暗場圖像
暗場圖像
微分干涉圖像
微分干涉圖像
偏光圖像
偏光圖像











花崗巖載物臺基座增強了測量的可靠性

FEM分析
STM7-LF FEM 分析

STM7系列采用了一個配備花崗巖基座的鏡架。由于花崗巖的高穩定性,使測量可到達亞微米水平,同時確保降低誤差。







繼續提供簡單易操作的3軸測量

跟蹤對焦光路
主動反射,共聚焦自動聚焦系統光路

不僅是XY軸平面的測量,而且Z軸方向的測量也成為必須。






可追溯系統

可追溯系統圖
測量顯微鏡溯源系統

在安裝系統時奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務。

STM7在設計上易用性 

提供適合您樣品尺寸的載物臺


常見問題

  • 短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。 
     
  • 大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費事費時,效率不高。 
     
  • 由于可測量的范圍窄,無法將數量較多的樣品排列在載物臺上,以實現同時測量。

STM7解決方案

  • 共有四種正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。 
     
  • 采用離合器系統可以在粗調和微調之間實現快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動,并且可以在XY平面上自由穿梭。 
     
  • 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,這意味著可以不旋轉樣品就實現大型樣品的全部測量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。 

 

stm7_50mm_stage_stmm7-CS50
STM7-CS50 
50mm x 50mm
stm7_100mm_stage_stmm7-CS100
STM7-CS100 
100mm x 100mm
stm7_50mm_stage_stmm7-CS200
STM7-CS200 
200 mm x 200 mm
50mm_stage_stmm7-CS300
STM7-CS300 
300 mm x 300 mm














使用相同的顯微鏡進行低倍率和高倍率觀察 


常見問題

  • 大部分傳統的測量顯微鏡只可以用測量物鏡或用金相物鏡,無法同時滿足多種觀察要求。

STM7解決方案

  • STM7可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡,而更換為物鏡轉盤后,便可使用金相物鏡。這意味著, STM7將金相光學系統和測量光學系統同時結合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式,無論是測量大型樣品還是精細樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對應并協助用戶選擇觀察方法。

測量物鏡

 

由于測量物鏡有長的工作距離,因此可以在對表面起伏較大的樣品進行聚焦的時候,無需擔心物鏡與樣品之間發生接觸。此外,借助測量物鏡的低倍率能力,可以觀察到較大的視場。

金相物鏡


明場圖像


明場圖像

在明場觀察之外還可以對應暗場,偏光和微分干涉觀察。

手動調焦和電動調焦兩種鏡架可供選擇

STM7系列包括手動調焦和電動調焦兩個系列

聚焦控制提供手動型和電動型兩種可選方案。請根據樣品和測量內容選擇符合您需求的機型,而不需要考慮載物臺的尺寸。所有的鏡架均內置Z軸線性標尺,各種型號STM7都可以對應3軸測量。

手動Z軸調焦機型

通過操作調焦旋鈕,可以快速的上下移動Z軸。為測量有各種高度樣品的用戶提供了方便。

電動Z軸調焦機型


使用電動調焦裝置可以提高操作性,并減少了進行聚焦和高度測量時的操作疲勞。粗微調焦的同軸旋鈕設計使使用者可以以習慣的類似手動的方式進行操作,同時電動機型還可以配備自動聚焦單元。

控制單元提升了測量顯微鏡的操作性

常見問題

  • 其他功能需要添置額外的操作單元。操作者無法快速找到相應的操作單元,因而降低測量效率。 
     
  • 眾多操作裝置和電源箱、控制箱散布在主機的周圍,占用了寶貴的工作空間。

STM7解決方案

操作裝置

對于STM7系列,只要使用操作裝置能夠執行幾乎所有的測量顯微鏡操作,包括重置計數器、照明控制、調焦和自動聚焦等功能。為了提高效率和方便性,您可以將裝置放在放置的位置,并可以操作。

控制箱

手動系統開關
用于手動Z軸調焦機型: 
STM7-HS手動操作裝置
電動系統控制單元
用于電動Z軸調焦機型: 
STM7-MCZ電動操作裝置

各個單元的電源和通信均被集成在一個控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導航功能也不需要增加額外的電源裝置,這樣的設計可以減少占用工作空間。

提高了觀察和測量效率的光源管理器

常見問題

  • 傳統測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調節方式不能實現光強的定量控制。 這樣每次測量時的光強無法保持一致,導致測量值也發生變化。 
     
  • 使用傳統測量顯微鏡時,每次切換物鏡后都需要調節光強,這使得工作流程低效。

STM7解決方案

能夠定量掌握光源亮度的數字式顯示

光強顯示器STM7的光強可定量顯示,這樣就能保證在相同條件下實施觀察和測量。


物鏡切換時,無需手動調節光強


光強度管理器可以與編碼物鏡轉盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉盤會自動識別目前使用的物鏡,結合光源管理器的預設值功能,可以為每個物鏡注冊照明方式和光強。這樣每當切換物鏡后,可以自動調節光強和調整照明方式。象以前每次切換倍率后手動調節光強的操作,現在就可以省略了。 


light_manager_x5_image   

5x物鏡光強 50


stm7_light_manager_x20_image

20x物鏡光強 70


light_manager_x100_image
100x物鏡光強 120

可拆卸計數器能檢查測量結果和設備狀態。

常見問題

  • 需要檢查諸如照明狀態等設備運行狀以及測量結果時,因為是在不同單元上顯示使操作變得繁瑣。


STM7解決方案

計數器

計數器帶有顯示設備狀態和設置的指示燈,可以簡單的實現對設備當前設定狀態的確認。X、Y和Z軸的單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換,此外,還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。

可拆卸式計數器

無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上,可拆卸式計數器都可以根據用戶的使用狀況和使用習慣放置位置。當用戶站著進行測量時,可以將計數器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側,以方便輕松的觀察和檢查結果。當用戶通過數碼相機在顯示器上進行觀察和測量,或使用電動Z軸調焦機型時,只需將計數器和操作裝置放在工作臺上即可進行作業。

顯微鏡上測量結果顯示器
計數器安裝在鏡架上 
 

工作臺上測量結果顯示器

計數器放置在工作臺上

自動聚焦系統重復性

常見問題

  • 進行目視測量時,不同的操作者會測得不同的高度測量值。此外,這種測量方法耗時,效率低下。

STM7解決方案

聚焦系統

通過將圖案投影在視場范圍內,由操作者確認上下圖案的重合情況,奧林巴斯的聚焦導航系統實現了重復性高的高度測量操作。普通的目測觀察進行高度測量時,即使是看上去非常清晰的已經完全合焦的圖像,也會出現微小誤差。而使用STM7的聚焦導航系統,只需匹配標記便可進行測量,因此減少了操作者的主觀性對測量結果造成的影響。

目視高度測量 
目視測量結果差異

聚焦導航系統 
focus_navigator_front_focus_area
焦點下方

聚焦導航焦點
焦點位置

focus_navigator_rear_focus_area
焦點上方



















常見問題

  • 進行目視測量時,不同的操作者得出的高度測量結果也會不一樣。
     
  • 手動高度測量需要操作者反復進行移動載物臺,使用旋鈕調焦的操作,這使測量既耗時又低效。 
     
  • 很難對微小的物體聚焦,比如引線。








STM7解決方案

自動對焦單元:再現性和聚焦速度

無論操作者的經驗如何,使用STM7用自動對焦單元均可以在更短時間內實現高度測量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面,利用主動反射、共聚焦方法都可以實現穩定對焦,而小直徑的激光,也能保證對微小物體,比如引線的自動對焦。


單次對焦模式

模糊圖像
 
聚焦圖像

執行自動聚焦后,可完成從大致的聚焦狀態轉為視場中心的清晰對焦。

追蹤模式

啟用追蹤模式后會隨樣品表面的高低起伏自動對焦,即使在移動工作臺的情況下,也可以保持合焦狀態。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情況下也能實施觀察,從而提高了Z軸的測量效率。


實現觀察與測量范圍拓展的配件

帶編碼物鏡轉盤

編碼物鏡轉盤

將編碼物鏡轉盤與數碼照相機配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率,以方便您記錄倍率。同時切換倍率時也能與軟件中記錄的校準值和光強連動調整設置。 有明場物鏡和明暗場物鏡兩種供您選擇。


MM6-EMO /正像單目鏡筒

正像單目鏡筒

正立圖像用單目鏡筒。可與MM6-OCC10×(帶十字線的目鏡)配套使用。


STM7-FS/ 腳踏開關

foot_switch

實現了不需要用手進行數據傳輸,使操作者可以在手不離開X和Y手柄的情況下完成測量。


SZ-LW61/ 白光LED照明單元

白光LED燈箱

小型,輕便,使用壽命長,功耗低等特點。此外,這款LED照明單元也不會發生閃爍和亮度波動。


SZX2-ILR66+SZX-RHS/ LED環形照明裝置+手動控制單元

環形LED照明裝置手動控制單元

SZX-RHS手動控制單元可以實現SZX2- ILR66反射LED環形照明裝置的四段照明,并提供具有較高色溫的清晰圖像。可以從13種模式中選擇照明。


旋轉載物臺

使用微調旋鈕可以輕松實現對樣品的平行對齊。

STM7 RS100 旋轉載物臺
STM7-RS100 用于STM7-CS100 100 mm×100 mm載物臺
STM7 RS200旋轉載物臺
STM7-RS200 用于STM7-CS200 200 mm×200 mm載物臺
STM7 RS300旋轉載物臺
STM7-RS300 用于STM7-CS300 300 mm×300 mm載物臺


測量支持系統

STM7-BSW GUI

對于顯示測量顯微鏡輸出的數據和圖像來說,看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量。該軟件亦可與數碼相機結合使用。

STM7規格

小型鏡架

中型鏡架

大型鏡架

光學系統

UIS2光學系統(無限遠校正)

顯微鏡鏡架

觀察方法

BF/DF/DIC/KPO*1

反射/透射

反射/透射

照明系統

白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明,功耗: 10 W 

聚焦

電動/手動

手動 [手動型]

電動 [電動型]

行程

175 mm

145 mm*2

FOCUS 按鈕粗移速度

8 mm/s [電動型]

微調焦速度 (可變)

800 μm/400 μm/200 μm/50 μm (旋轉一周移動量) 4 檔可選 [電動型]

測量高度

175 mm*3, 120 mm*4

145 mm*3, 90 mm*4

物鏡

測量物鏡/金相物鏡

觀察筒

正像單目鏡筒,正像三目筒(100:0/0:100)

載物臺

行程

50(X)x50(Y)mm

200(X)x200(Y)mm

300(X)x300(Y)mm

100(X)x100(Y)mm

測量精度

50 mm 行程:(3+L/50)μm

(3+4L/200)μm

(3+6L/300)μm

100 mm 行程:(3+L/100)μm

計數器顯示

軸數

3

單位

毫米/微米/英寸/密耳

計數器顯示分辨率

0.1μm

外形尺寸

[手動型]

466()x583()x651()mm

606()x762()x651()mm

804()x1024()x686()mm

[電動型]

466()x583()x811()mm

606()x762()x811()mm

804()x1024()x844()mm

重量

[手動型]

84kg

152kg

277kg

[電動型]

92kg

159kg

284kg

備注

*1: 簡易偏光觀察 
*2: 
使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時,可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。 
*3: 
采用金相顯微鏡使用的物鏡 
*4: 
采用測量顯微鏡使用的物鏡

 

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