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Olympus金相顯微鏡BX53M
產品概要

 

BX3M系列采用了模塊化設計,為材料學和工業應用提供了多樣化的解決方案。BX3M增強了與奧林巴斯Stream軟件的集成性,從而為常規顯微鏡檢查和數碼成像用戶提供了從觀察到報告創建的無縫工作流程。


適且便于使用

易于操作:簡單的照明器

照明器的設計減少了顯微鏡操作過程中所必須的復雜操作。 照明器前端的旋鈕使用戶能夠輕松地改變觀察方法。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時快速切換較常用的觀察方法,比如從明場觀察到暗場觀察,到偏光觀察,以隨時改變不同類型的分析。此外,可以旋轉檢偏鏡來實現簡單偏光觀察的調節。

操作者能夠在經常使用的觀察方法之間快速切換(AlSi的拋光態樣品)


直觀的顯微鏡控制:視場光闌和孔徑光闌的簡單設置

使用正確的孔徑光闌和視場光闌設置能夠獲得良好的圖像對比度,還可以充分利用物鏡的數值孔徑。指示標志可引導用戶根據觀察方法和所用物鏡進行正確的設置。


快速找到焦點:對焦刻度標尺

機架上的對焦刻度標尺可以讓操作者快速鎖定焦點。操作者不用通過目鏡查看樣品就可以大致地對準焦點,從而在檢查有不同高度的樣品時節省了時間。


一致的照明:智能光強管理

在初始設定時,可以調節照明強度,使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉換器的特定硬件配置匹配。

傳統的光強

傳統顯微鏡中,提高了放大倍率,以及使用需要更多光線的觀察方法后,圖像會變得更暗。

智能光強管理

改變放大倍率或觀察方法時,顯微鏡自動調節光強到正確值。


方便而人性化的操作

人性化設計對所有用戶都重要。無論是單機顯微鏡用戶,還是集成了奧林巴斯Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統用戶,都可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的人性化操作設計的手動控制器。簡單的手動開關讓用戶能夠專注于樣品和檢查工作本身。

用于旋轉電動物鏡轉換器的手動開關

手動控制器

曝光按鈕



可恢復顯微鏡設置:編碼硬件

BX3M采用了編碼功能,將顯微鏡的硬件設置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀察方法、照明強度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動控制器里。編碼功能可實現顯微鏡設置與每幅圖像一起自動保存,從而可輕松完成此后的還原設置,以及為報表提供文檔記錄。既節省了操作者的時間,又減小了使用不正確設置的概率。當前的觀察設置總是清晰地顯示在手動控制器和軟件上。

操作步驟 操作者A 操作者B
不同的操作者使用不同的設置
易于驗證正確的設置

使觀察設置保持同步

盡管操作者不同,但設置相同

MIX觀察:讓未見變為可見

BX3M的MIX觀察技術組合了明場和暗場照明方法。MIX照明滑塊中的LED光源,以定向暗場光線照射樣品。這種方式類似于傳統暗場照明,但又可為LED的不同角度光線照射提供四分象限選擇功能。這種定向暗場與明場、熒光、或偏光的組合稱為MIX照明,有助于顯示缺陷和區分隆起與凹陷表面。


柔性印制電路板和不銹鋼


即時MIA:輕松移動載物臺即可進行全景拍攝

現在不需要電動載物臺,僅僅移動手動載物臺上XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像。奧林巴斯Stream軟件采用圖案識別技術來生成全景圖像,為用戶提供了視野。

一枚硬幣的即時MIA圖像。


EFI:創建景深圖像

奧林巴斯Stream軟件的景深擴展成像(EFI)功能能夠獲取高度超過物鏡焦深的樣品圖像,把通過不同焦面的圖像疊加在一起,創建出一幅景深圖像。可以使用手動或電動Z軸機構來執行EFI,并可創建一幅高度圖,以輕松地識別樣品結構。也可以用Stream桌面版在離線時創建EFI圖像。


HDR:同時捕捉高光和暗調區域的細節

高動態范圍(HDR)使用了圖像處理技術,能夠針對一幅圖像內的亮度差異進行調節,從而減少了眩光。HDR改善了數字圖像的視覺效果,從而為用戶制作報告時提供圖像。

借助HDR功能,同時清晰呈現出高光和暗調區域的細節
(樣品:燃油噴射器)

借助HDR功能,增強了對比度
(樣品:鎂切片)


可調整滿足觀察和分析的偏好要求

觀察方法的選擇范圍寬廣

反射光顯微鏡應用于各行各業。以下僅為一些通過不同觀察方法獲得的效果示例,如 明場(BF)、 暗場(DF)、微分干涉差(DIC)、偏光(PL)、熒光(FL)、紅外(IR)、和透射光(TL)。


DF(示例: 表面貼裝基板)


DIC(示例:球墨鑄鐵腐蝕檢測)


PL(示例: 絹云母)


FL(示例: 半導體晶圓上的顆粒異物)


IR(示例:電極切片)


TL(示例: LCD彩色濾光片)


常規或基礎測量功能

通過奧林巴斯Stream軟件可以實現多種測量功能,從而使用戶可以很輕松地從圖像中獲取有用的數據。在質量控制和檢查時常常需要對圖像進行測量。所有測量結果都與圖像文件一起保存,用于文件檢索。


計數和測量

目標探測和尺寸分布測量,是數碼圖像中應用。Stream軟件使用閾值分割方法進行目標探測,能夠可靠地從背景中分離目標(比如顆粒、劃痕)。


材料解決方案

奧林巴斯Stream軟件提供了基于工作流程的直觀界面,可用于復雜的圖像分析。點擊按鈕即可快速執行復雜的圖像分析任務,并且符合很常用的工業標準。






3D測量

使用外部電動對焦機構時,可以快速獲取EFI圖像,并以3D視圖顯示。獲取的高度數據可用于剖面上的3D測量,或通過單視圖進行3D測量。

3D表面視圖(粗糙度試驗樣品)

單視圖和3D剖面測量


容納各類樣品

可以容納更多的樣品類型和尺寸

150×100mm載物臺在X方向上提供了比以前的型號更大的行程。再加上其載物臺板的平板式設計,可以輕松地將大樣品,或多個樣品放置在載物臺上。載物臺板上開有小孔,可用于固定樣品架。更大的載物臺為用戶提供了靈活性,使他們能夠在一臺顯微鏡上檢查更多的樣品,從而節省了寶貴的實驗室空間。可調節扭力的載物臺方便了高倍下窄視野的微調定位。


樣品高度和重量的高適應性

 BX53MRF-S

使用選配的模塊組件可以將高105mm的樣品放置在載物臺 上。由于改進了調焦機構,因此顯微鏡可以容納重6kg的總重量(樣品+載物臺)。這就意味著BX3M可以檢查更大、更重的樣品,從而減少了實驗室內所需的顯微鏡數量。通過將用于6英寸晶圓的旋轉托架放置在偏離中心的位置,在100mm行程范圍內移動時,用戶僅旋轉晶圓托架即可觀察整個晶圓表面。







樣品尺寸大小的靈活性

BXFM

如果樣品太大,難以放置在常規顯微鏡載物臺上,則可以把用于反射光顯微鏡觀察的核心光學部件組裝到一個模塊化的系統里。這種模塊化系統,就是BXFM,它可以通過一個支撐桿安裝在更大的支架上,或使用安裝托架安裝在另一臺儀器上。







兼容ESD:保護電子裝置,防止受到靜電放電的影響

BX3M有ESD靜電消除能力,防止電子裝置受到由人為或環境因素而導致的靜電的影響。


光學性能:波像差控制

使用顯微鏡進行研究或系統集成時,所有物鏡的光學性能必須標準化。奧林巴斯的UIS2物鏡提供了波像差控制,減小了會降低分辨率的像差,從而獲得數值孔徑(NA)和工作距離(WD)性能指標。


穩定的色溫和高強度白光LED照明

BX3M為反射光和透射光照明提供了高強度的白光LED光源。無論強度是多少,LED都保持著一致的色溫。LED提供了高效而長壽命的照明,是材料學檢測應用的工具。


通過鹵素燈獲得的高光強和低光強

通過LED獲得的高光強和低光強

實現性能的品質

測量:自動校準

類似于數碼顯微鏡,使用奧林巴斯Stream軟件時也能夠實施自動校準。自動校準消除了校準過程中的人為變化因素,能夠獲得更可靠的測量結果。自動校準的算法采用多個測量點的平均值來自動計算正確的校準量。這就減小了不同操作者產生的差異,提高了定期驗證的可靠性。






無縫拼接:圖像陰影校正

可以用奧林巴斯Stream軟件完成陰影校正,以補償圖像角落四周的陰影。使用光強閾值設置時,陰影校正提供了分析。此外,使用MIA拼接圖像時,可以獲得更均勻的全景圖像。



BX53M規格(用于反射和反射/透射光組合)

BX53MTRF-S

BX53MRF-S

BXFM

光學系統

UIS2光學系統(無限遠校正)

顯微鏡機架

照明

反射/透射

反射

對焦

行程:25 mm 
每轉的微調行程:100 μm 
刻度:1 μm 
配有上限限位器,用于粗調手柄的扭力調節

行程:30 mm 
每轉的微調行程:200 μm 
刻度:2 μm 
配有用于粗調手柄的扭力調節

樣品高度

35 mm (不含高度適配器) 
75 mm (帶BX3M-ARMAD)

65 mm (不含高度適配器) 
105 mm (帶BX3M-ARMAD)

取決于安裝配置

觀察筒

寬視野FN22

倒像:雙目、三目、傾斜式雙目 
正像:三目、傾斜式雙目

超寬視野FN26.5

倒像:三目 
正像:三目、傾斜式三目

反射光照明

常規觀察技術

BX3M-RLAS-S 
編碼,白光LED,BF/DF/DIC/POL/MIX FS,AS(帶對中裝置) 
BX3M-KMA-S 
白光LED,BF/DIC/POL/MIX FS,AS(帶對中裝置) 
BX3M-RLA-S 
100W/50W鹵素燈,白光LED,BF/DF/DIC/POL/MIX FS,AS(帶對中裝置), 
BF/DF切換時中密度濾色片聯動

-

U-KMAS 
白光LED,100W鹵素燈 
光纖照明,BF/DIC/POL/MIX

熒光

BX3M-URAS-S 
編碼,100W汞燈,4孔位分光鏡組件轉換器,(標準:WB, WG, WU+BF等) 
FS,AS(帶對中裝置),帶光閘裝置

透射光

白光LED 
阿貝/長工作距離聚光鏡

-

物鏡轉換器

用于BF

六孔,對中六孔,七孔,編碼五孔(選配電動物鏡轉換器)

用于BF/DF

六孔,五孔,對中五孔,編碼五孔(選配電動物鏡轉換器)

載物臺

同軸左手(右手)操作載物臺: 
76mm×52mm,采用扭力調節 
大型同軸左手(右手)操作載物臺: 
100mm×105mm,帶Y軸鎖定裝置 
大型同軸右手操作載物臺: 
150mm×100mm,帶扭力調節和Y軸鎖定裝置

-

重量

大約18.3 kg 
(顯微鏡機架7.6 kg)

大約15.8 kg 
(顯微鏡機架7.4 kg)

大約11.1 kg 
(顯微鏡機架1.9 kg)

BX53M規格(用于紅外觀察)

BX53MRF-S

BXFM

IR觀察筒

寬視野FN22

倒像:三目

反射光照明

IR觀察

BX3M-RLA-S 
IR用100W/50W鹵素燈,BF/IR,AS(帶對中裝置) 
BX3M-URAS-S 
IR用100W/50W鹵素燈,BF/IR,AS(帶對中裝置)

U-KMAS 
IR用100W/50W鹵素燈,BF/IR

物鏡轉換器

用于BF

六孔,對中六孔,七孔,編碼五孔(選配電動物鏡轉換器)

Stage (X × Y)

同軸左手(右手)操作載物臺: 
76mm×52mm,采用扭力調節 
大型同軸左手(右手)操作載物臺: 
100mm×105mm,帶Y軸鎖定裝置 
大型同軸右手操作載物臺: 
150mm×100mm,帶扭力調節和 
Y軸鎖定裝置

重量

大約18.9 kg(顯微鏡機架7.4 kg)

大約11.6 kg(顯微鏡機架1.9 kg)

BX53M規格(用于偏光觀察)

BX53MTRF-S

偏光中間附件 
(U-CPA或U-OPA)

寬視野FN22

倒像:雙目、三目、傾斜式雙目 
正像:三目、傾斜式雙目

勃氏鏡

可對焦(僅適用于U-CPA)

勃氏鏡視場光闌

直徑?3.4mm(固定)(僅適用于U-CPA)

切換正像鏡檢和錐光鏡檢時加入或退出勃氏鏡

滑塊位置 ● 進入 
滑塊位置 ○ 退出 
(僅適用于U-CPA)

檢偏鏡插槽

旋轉式檢偏鏡插槽(U-AN360P-2)

檢偏鏡(U-AN360P-2)

可旋轉360°的撥盤 
可旋轉的小角度0.1°

對中式物鏡轉換器(U-P4RE)

四孔,附對中裝置:1/4λ偏振片(U-TAD), 
試板(U-TP530) 和各種補色器均可連接補色器適配器(U-TAD)使用。

載物臺(U-SRP)

帶3點對中功能的偏光專用旋轉載物 
可旋轉360°,可鎖定在任何位置,360°每刻度遞增1° 
(分辨率6’,使用游標尺) 
45°鎖定功能 
可安裝移動標本夾(U-FMP)

聚光鏡(U-POC-2)

消色差無應力聚光鏡(U-POC-2),帶外擺式消色差頂部透鏡的可旋轉360°起偏鏡。 
“0°”刻度處的鎖定機構可調節。 
NA0.9(頂部鏡頭內擺) 
NA0.18(頂部鏡頭外擺) 
孔徑光闌:直徑從2mm到21mm可調節

重量

大約16.2 kg(顯微鏡機架7.6 kg)

BX53M/BXFM ESD裝置

部件

顯微鏡機架:BX53MRF-S, BX53MTRF-S 
照明器:BX3M-KMA-S, BX3M-RLA-S, BX3M-URAS-S, BX3M-RLAS-S 
物鏡轉換器:U-D6BDRES-S, U-D6RE-ESD, U-D5BDREMC-ESD, U-5RES-ESD 
載物臺:U-SIC4R2, U-SIC4L2, U-MSSP4

 



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