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Olympus高倍顯微鏡MX63
產品概要

 

MX63和MX63L顯微鏡系統支持檢測尺寸達300毫米的晶圓、平板顯示器、印刷電路板以及其他樣品的質量。這些符合人體工學設計的人性化系統采用模塊化設計,可在各種應用中實現較優觀察條件。結合奧林巴斯Stream圖像分析軟件使用時,從觀察到生成報告的整個檢測流程更簡潔直觀。

滿足電子行業需求

  • 功能性:滿足電子行業的人體工學和安全性要求而設計的附加功能以增強分析能力。
  • 人性化:簡潔的顯微鏡設置使用戶調整和再調用系統配置變得更為輕松。
  • 成熟的成像技術:我們成熟可靠的光學器件和成像技術可獲得清晰圖像,并完成可靠檢測。
  • 模塊化:用戶可通過選擇適合其應用的模塊進行系統定制。

分析工具

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像,讓用戶能夠對樣品進行可靠的缺陷檢測。全新照明技術以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結果提供更多選擇。 

從不可見到可見:MIX觀察與采集

通過暗場與明場、熒光或偏光等其他觀察方法結合使用,MIX觀察技術能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術可讓用戶發現用傳統顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場觀察所用的環形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈,有助于觀察樣品的表面紋理。

 

 

輕松生成全景圖像:即時MIA

利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動手動載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速地完成圖像拼接—電動載物臺無需該操作。奧林巴斯Stream軟件利用圖案識別生成全景圖像,讓用戶獲得更寬的視場。

 

生成全聚焦圖像:EFI

奧林巴斯Stream軟件的擴展聚焦成像(EFI) 功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像。EFI將這些圖像堆疊在一起生成單幅全聚焦樣品圖像。EFI配合手動或電動Z軸載物臺使用,可輕松生成結構可視化的高度圖像。EFI圖像可在奧林巴斯Stream桌面軟件內離線生成。 

 

利用HDR采集明亮區域和暗光區域 

利用成熟的圖像處理技術,高動態范圍(HDR)可在圖像內調整亮度差異,以減少眩光。HDR改善了數字圖像的視覺品質,從而有助于生成報告。 

 

從基本測量到分析

測量對于品質、工藝控制和檢測重要。基于這一想法,即便入門級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單,并且所有測量結果與圖像文件一起保存以便日后調用文檔。此外,奧林巴斯Stream材料解決方案可為復雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點擊按鈕,圖像分析任務即可快速完成。可大幅度縮減重復性任務的處理時間,使操作人員的精力集中在檢測工作上。 

 

高效的報告創建

創建報告所用的時間常常比采集圖像和測量還長。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報告創建功能,能夠根據預先設定的模板多次創建專業復雜的報告。編輯簡單,報告可導出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外,奧林巴斯Stream報告功能能夠對采集的圖像進行數碼變焦和倍率放大。報告文件大小適中,通過電子郵件進行數據傳遞更加方便。 

 

獨立相機選項

使用DP22或DP27顯微鏡相機的MX63系列是一套成熟的獨立系統。該相機采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒控制,在采集清晰圖像以及進行基本測量工作的同時讓實驗室空間得到充分利用。 

 

支持潔凈室合規性的設計 

MX63系列專為潔凈室工作而設計,并有效降低樣品污染或受損的風險。該系統采用人體工學設計,可幫助用戶在長時間使用中保持舒適。

選配晶圓自動搬送機 — AL120系統*

選配的晶圓自動搬送機可安裝在MX63系列上,實現無需使用鑷子或工具即可安全地將硅及復合半導體晶圓從晶圓匣運送到顯微鏡載物臺上。良好的性能和可靠性能夠安全、高效地對晶圓正面和背面進行宏觀檢測,同時搬送機還可幫助提高實驗室工作效率。

*AL120系統未在歐洲上市。AL120系統設計用于要求EMC性能的工業環境。在住宅環境使用可能會影響到其他設備使用。

 

MX63系統與AL120晶圓自動搬送機結合使用(200毫米型號)

快速、清潔的檢測 

MX63系列可實現無污染的晶片檢測。所有電動組件均安裝在防護結構殼內,顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護罩、及其他部件均采用防靜電處理。

電動物鏡轉換器的轉速比手動物鏡轉換器更快更安全,縮短檢測間隔時間的同時讓操作人員的手保持在晶圓下方,避免了潛在的污染。 

 

系統設計實現高效觀察

利用內置離合和XY旋鈕,能夠實現對載物臺運動的粗調和微調。即便針對諸如300毫米晶片這樣的大尺寸樣品,載物臺也可幫助實現高效的觀察。

傾斜觀察鏡筒的擴展范圍可讓操作人員以舒適的姿態坐在顯微鏡前工作。

 

適合所有晶圓尺寸

該系統可配合各類150–200毫米和200– 300毫米晶圓托架和玻璃臺板使用。如果生產線上的晶圓尺寸發生變化,可更改載物臺或鏡架。有了MX63系列,各種載物臺均可用于檢測75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圓。

 

       晶圓托架和玻璃臺板

全面可定制 

MX63系列設計用于讓用戶能夠選擇各種光學器件滿足其特定的檢測和應用需求。該系統可使用所有觀察方法。用戶還可從一系列的奧林巴斯Stream圖像分析軟件包中進行選擇,以滿足其特定的圖像采集和分析需求。 

兩個系統兼容多種樣品規格 

MX63系統能夠檢測尺寸達200毫米的晶圓,而MX63L更大可檢測300毫米的晶圓,兩款有相同的較小占用空間。MX63系列的模塊化設計可輕松地根據您的需求定制顯微鏡。 

   

                           MX63                                                  MX63L

紅外兼容性

紅外觀察可利用紅外物鏡實現,該物鏡可用于透過硅材料成像讓操作人員實現對封裝和安裝在印刷電路板上的集成電路芯片內部進行無損檢測。5X到100X紅外物鏡可實現從可見光波長到近紅外波長的色差校正。

      

     紅外物鏡                        常規圖像                               采用色差校正的圖像

按您自己的要求打造奧林巴斯系統 

顯微鏡鏡架 

有兩種顯微鏡鏡架;一種可容納200毫米的晶圓,另一種可容納300毫米的晶圓。諸如聚焦輔助功能和呼吸防護罩等配件可提高您的檢測效率。 

 

 鏡筒

 用于通過目鏡觀察圖像或者利用相機進行觀察,根據成像類型和操作者在觀察過程中的姿勢選擇鏡筒。

 

 

目鏡

目鏡可讓用戶通過顯微鏡進行直接觀察。根據視場要求選擇。

 

載物臺 

載物臺和載物臺板可用于放置樣品;根據您樣品的大小和形狀進行選擇。 

光源

光源和電源用于為樣品照明。根據觀察方法選擇適當的光源。 

物鏡轉換器

安裝物鏡和滑塊。根據所需的物鏡數量及類型以及是否需要滑塊選擇物鏡轉換器 

滑塊

選擇滑塊彌補傳統明場觀察不足。DIC滑塊可提供有關樣品的形貌信息,并可選更大化對比度或分辨率。MIX滑塊利用暗場路徑上的分段LED光源實現照明靈活性。 

 

 

 

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